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    黃洪鐘教授等獲2015年度四川省科技進步獎
    發布時間: 2016.08.16     作者: admin     瀏覽次數: 2476

      2016年7月7日上午,四川省科技創新、科技獎勵大會暨系統推進全面創新改革試驗工作會議在成都隆重召開。省委書記王東明出席并講話,省委副書記、省長尹力主持并就貫徹落實會議精神提出要求。省政協主席柯尊平、省委副書記劉國中出席。省委常委,省人大常委會、省政府、省政協領導,省法院院長、省檢察院檢察長,省政府秘書長,各民主黨派省委和省工商聯負責人,各市州黨委政府、省直部門和中央在川單位主要負責同志,全省國家級和省級開發區、保稅區、物流園區主要負責同志,部分科研單位、高等學校、國有企業和在川軍工企業、民營企業負責人,創新創業園區及平臺代表,在川“兩院”院士代表,受表彰代表等參加大會。

      會上,副省長劉捷宣讀《四川省人民政府關于授予2015年度四川省科學技術獎勵的決定》。系統可靠性與安全性研究中心黃洪鐘教授主持完成的《超精密溫度控制裝置》 項目獲得2015年度四川省科技進步獎二等獎。黃洪鐘教授等作為項目完成人參加了此次大會。

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      獲獎項目以解決極紫外光刻機物鏡的溫管和溫控為出發點,研制了大功率超精密半導體制冷模塊,應用主動溫度控制方法和層次結構實現了全場多通道溫度均勻控制,完成了超精密溫控系列裝置的設計研發。項目成果獲國家發明專利 5 項及軟件著作權 2 項。產品主要應用在半導體制造業、高檔數控行業和航空航天上。

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